4探針法によるシート抵抗測定システムです｡

　メタル層、エピ層、イオン注入層、拡散層等といった薄膜から厚膜まで様々な膜質に対応でき、さらに平均値、V/I、標準偏差の表示機能やWindowsを用いて、データ集計､3Dマッピングなどが可能です｡又､オプションとして、拡張測定レンジ、SPC（統計管理機能）、温度補正機能の追加やCtoC使用に対応できます｡

　DC渦電流方式の非接触型シート抵抗測定システムは、半導体/液晶基板、太陽電池セル、フレキシブル材料、各種導電性フィルム等の研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、サンプルへの物理的損傷を与えず、他社に無い幅広い測定レンジにて高精度な測定をします。