計測機器部

ESD試験装置

　アメリカThermo Fisher Scientific社の製品です。

ESD試験（HBM、MM）装置　MK. シリーズ

　MKシリーズはデバイスの多ピン化に対応したコンパクトなESD試験装置です。

　3つのバリエーションがあり、ユーザのご要求に合わせたシステムの提案が可能です。どのシステムも今日の最新の規格に対応したESD試験、ラッチアップ試験(オプション)を実施できます。最大256ピンに対応したESD試験装置です。

　共通仕様
■ESD(HBM、MM)
　JEITA、JEDEC、ESDA、AEC

Mk.1

■ラッチアップ試験(オプション)
　JEITA、JEDEC、AEC
　※MK.2はStaticラッチアップを標準装備
■複数のHBM、MMパルス源
　全てのテスターピンにおいて精密なESD波形
■パラメトリックステスト機能
　Curve tracing、 Spot VI measurements、PSU measurements

Mk.2

■データセット機能
　柔軟で使い易いソフトウェア
■電源シーケンス
　目的のテストに合った柔軟なシーケンス
■イベントトリガー出力
　ユーザにより設定されたトリガー管理機能
■コンパクトな構造
　独自の設計による省スペース化を実現

Mk.4

個別仕様

・本体サイズ：W:D:H
MK.1：　579×774×914 ㎜
MK.2：　579×774×914 ㎜
MK.4：　600×990×1270 ㎜

　

　
　　

ESD試験（CDM）装置　Orion3

　Thermo Scientific Orion3は湿度コントロール機能を備えたESD(CDM）試験装置です。テストヘッドを交換することで各種の規格に対応したESD(CDM)試験試験を実施できます。任意のデバイスに対して容易にテストパターンを作成でき、サイクルタイムを最小限にします。新機能CDM2は従来の空間放電方式で問題になっている繰返し再現性を大幅に改善した新方式のCDM試験が可能です。

　仕様
■ESD(CDM)
　JEITA(一部に対応)、JEDEC、ESDA、AEC
■湿度コントロール
　ユーザ指定の湿度範囲内での試験
■パッケージエディタ
　任意のデバイスのテストパターンを安易に作成
■アングル自動補正
　2ポイントアライメント機能
■オシロスコープインターフェイス
　自動的に放電イベントを保存可能
■広いテストエリア
　10cm×10cm
■デュアルカメラ
　X軸Y軸からターゲットへ正確にコンタクト
■マルチ言語対応
　日本語、英語、フランス語、ドイツ語など
・本体サイズ：W:D:H
　560×890×1070㎜
Orion3

保護回路TLP試験装置　Celestron

　CelestronはウェハおよびパッケージレベルでデバイスのESD保護回路の特性評価を行えるTLP試験装置です。
■TLP
　ウェハレベル、パッケージレベル、TDR、TDT(オプション)、TDTR(オプション)
■カーブトレーサー内蔵
■リアルタイムディスプレイ
　TLP電圧とパルス電流
■プローバとのインターフェイス
　セミオートプローバとの接続
■省スペース

Celestron

HMM/HBM対応マニュアルESD試験器　Pegasus

　Pegasusは2ピンタイプのマニュアル式のESD試験装置です。システムレベルのESD試験がデバイスレベルで行えるHMM(Human Metal Model)を備え、専用ポッドの交換によりHBM(Human Body Model)の試験が可能です。ESDストレスの電流電圧波形が取得可能なため、より高度なデバイス評価を行えます。
■ HMM(IEC61000-4-2波形に適合)、HBM
■ パッケージ、ダイ、ウェハ等の多種デバイス
■ 波形印加前後のV/I測定、カーブトレース
■ オシロスコープインターフェイス
■ 自動切り替え外部アッテネータ
　　　　　　　　　　　　　■ ストレス電圧電流波形、カーブトレース保存
　　　　　　　　　　　　　■ 自動故障判定機能(Scimitarソフトウェア)
　　　　　　　　　　　　　■ 波形等の出力は多種形式(jpg、csv…)に対応
　　　　　　　　　　　　　■ プローブステーションへの接続

Pegasus