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Four Dimensions, Inc.
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MODEL -280
四探針法によるシート抵抗測定システムです。メタル層、エピ層、イオン注入層、拡散層等といった薄膜から厚膜まで様々な膜質に対応でき、さらに平均値、V/I、標準偏差の表示機能やWindowsを用いて、データ集計、3Dマッピングなどが可能です。又、オプションとして、拡張測定レンジ、SPC(統計管理機能)、温度補正機能の追加やCtoC使用に対応できます。

MODEL 680
メタル層、エピ層、拡散層はもとより、M-280、M-1100シリーズにはできなかった、GaAs、InP、GaAIP、GaAsPのような高い接触抵抗を有したV-V族化合物ウエハを対象の、シート抵抗測定システムです。M-280と同じくΩ-cm、薄膜、トレンドチャート、等高線、3Dマップ等のような表示機能、オプション品を備えています。

MODEL 1100
主として大型基板FPDに対応したモデルです。絶縁プレート上のアモルファスシリコン層、ポリシリコン層、メタル層、合金層のような導電性フィルム等を評価するシート抵抗測定システムです。ユーザのニーズに応じ6タイプをラインナップし、様々な表示機能、オプション品を備えております。

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