シート抵抗測定器

	Four Dimensions, Inc.
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ＭＯＤＥＬ -280
	四探針法によるシート抵抗測定システムです｡メタル層、エピ層、イオン注入層、拡散層等といった薄膜から厚膜まで様々な膜質に対応でき、さらに平均値、V/I、標準偏差の表示機能やWindowsを用いて、データ集計､3Dマッピングなどが可能です｡又､オプションとして、拡張測定レンジ、SPC（統計管理機能）、温度補正機能の追加やCtoC使用に対応できます｡

ＭＯＤＥＬ 680
	メタル層、エピ層、拡散層はもとより、M-280、M-1100シリーズにはできなかった、GaAs、InP、GaAIP、GaAsPのような高い接触抵抗を有した�V-V族化合物ウエハを対象の、シート抵抗測定システムです｡M-280と同じくΩ-cm、薄膜、トレンドチャート、等高線、3Dマップ等のような表示機能、オプション品を備えています｡

ＭＯＤＥＬ 1100
	主として大型基板FPDに対応したモデルです｡絶縁プレート上のアモルファスシリコン層、ポリシリコン層、メタル層､合金層のような導電性フィルム等を評価するシート抵抗測定システムです｡ユーザのニーズに応じ６タイプをラインナップし、様々な表示機能、オプション品を備えております｡