セミオートプロ−バ
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- 300mmウェハ対応プローブステーション Proシリーズ
- 200mmウェハ対応プローブステーション Model 8860
- テストヘッドプローブステーション Model 2240
- ラージエリアプローブステーション Model 2210
- ウェハレベル信頼性（WLR）試験用プローブステーション Model 2200
- プローブステーション制御ソフトウェア PCプローブU
- ホットチャックオプション
| 1. 300mmウェハ対応プローブステーション Proシリーズ
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P300J モーター駆動マニュアルモデル 各種測定への対応を考慮したモーター駆動のマニュアルプローバです。ジョイスティックが標準装備され容易な操作が可能です。プローブカードホルダ、シールドボックス、サーマルチャック、CCDモニタ、レーザーカッターなど各種オプションを取り揃えています。 P300A セミオートマティックモデルパターン認識機能を搭載したプログラマブル・セミオートプローバです。ジョイスティックに加え、ユーザーインターフェイスにタッチパネルを採用して容易な操作を可能にしています。プローブカードホルダ、シールドボックス、サーマルチャック、CCDモニタ、レーザーカッターなど各種オプションを取り揃えています。 |
・サイズ：WxDxH, 本体重量（P300J/P300A共通） 840×1020×840 o, 218kg | |
| 2. 200mmウェハ対応プローブステーション Model 8860
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サブミクロン対応の150mm、200mmウエハ用（75mm、100mmウエハ対応可能）のセミオートプローバです。制御用ソフト「PCプローブ」のグラフィック機能により顕微鏡、ポジショナ、ステージを高精度にＰＣ制御し、効率よく迅速にプロービングが行えます。また、ニーズに応じレーザカッタ、サーモチャックなどの搭載も可能です。 |
| 3. テストヘッドプローブステーション Model 2240
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テストヘッド上にセットされたデバイスを動作させながら、直接プロービングが可能なシステムです。プローバがテストヘッドの上に搭載されているため、ケーブル長を非常に短くすることが可能です。そのため、デバイスはテスタから真の値に近い信号を受けながら、プロービングが行えます。デバイス/ソケットボードをフロート構造にすることにより、テストヘッドのファンや床からの振動の影響を受けません。 |
| 4. ラージエリアプローブステーション Model 2210
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LCD、PDP、あるいはプリント基板といった大型のサンプルを対象としたプロービングシステムです。顕微鏡のＸ−Ｙ：600oの可動域に加え、ポジショナ搭載用の可動式プラットホームにより広範囲かつ、適応性の高いプロービングを可能にしました。 |
| 5. ウェハレベル信頼性（WLR）試験用プローブステーション Model 2200
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ウェハレベルでの長期信頼性試験用途（WLR）に特化したモデルです。温度加速試験用のサーマルチャック、高温対応プローブカードのオプションを取り揃えています。 |
| 6. プローブステーション制御ソフトウェア PCプローブU
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制御ソフトＰＣプローブUはプロービング時に必要な操作ツールを提供します。プロービングを導くナビゲータモジュール、ダイのプログラムを正確にコーディネートするマッピングモジュール、ダイのプロービング順序をセットするインダイモジュール、プロービングをリアルタイムでイメージするビデオモジュールといった４つの表示機能を兼ね備え、マウスまたはキーボードを操作するだけで思い通りの制御ができます。 |
| 7. ホットチャックオプション
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H1000 サーマルチャックシステム マイクロマニピュレータ社のプローバ用サーマルチャックシステム”H1000シリーズ”は、標準のホットチャックをはじめ、オプションにてホット/コールドチャック（-65℃〜＋400℃）、低ノイズチャック、高絶縁性トライアキシャルチャックを取り揃えています。 トライアキシャルチャック マイクロマニピュレータ社はトライアキシャル構造の低ノイズサーマルチャックシリーズを提供しています。このサーマルチャックは極めて絶縁性が高いこととチャック表面自体のトライアキシャル構造、もしくはケルビン接続を特徴としています。 耐熱プローブカード HCIやTDDB試験など長期の高温試験に対応した米国セラドン・システムズ社のセラミック製高性能耐熱プローブカードです。ウェハ一括コンタクトからシングルサイトコンタクトまで試料形態・試験条件に応じ、丸型や角型の各種のカードを取り揃えています。 |