ホーム

EMD試験装置

ESD試験装置

マニュアルプローバ

セミオートプローバ

各種プローバ

水銀プローバ

シート抵抗測定器

マニュアルポジショナ

アクセサリ

ピンセット・工具

顕微鏡用デジタルカメラ

フォトマスク検査

お問合せ

各種プロ−バ

初期導入費用が安価でコストパフォーマンスに優れた簡易型から大型液晶パネルに対応したモデル、高温や極低温領域のような試験環境に対応したモデルなど、試料形状や計測用途に応じた各種のプローバを取り揃えています。

  1. 簡易型プローバ TBシリーズ
  2. シールディングプローバ SPシリーズ
  3. フラットパネル用プローバ
  4. 真空プローバNEW
  5. 磁極間プローバNEW
  6. グローブボックス用プローバ GBシリーズNEW
※商品の画像をクリックすると拡大画面が表示されます。


ライン


1. 簡易型プローバ
簡易シールドボックスプローバ TBシリーズ
簡易シールドボックスプローバ 省スペースで各種の計測目的に適したコストパフォーマンスに優れたモデルです。コンパクトなシールドボックスの中には試料台、マイクロポジショナ、プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕微鏡、除振台を標準装備しています。プローブに必要な構成品があらかじめ含まれていますので、新たにプロービング環境を構築する場合に比べて初期導入費用が安価で済みます。コンパクトサイズのため、様々な用途、省設置スペースでの使用が可能です。ホットチャック、各種先端径・材質のプローブなどのオプション品も豊富に用意していますので、プローブによる電気測定が初めての方から経験者の方まで幅広くご使用いただけるコストパフォーマンスに優れたプロービングシステムです。

対応モデル
  ・TB-4
    4インチ(100mm)対応
  ・TB-6
    6インチ(150mm)対応
  サイズ:W:D:H 450×260×205mm
(扉閉時、ゴム足20mm込み、TB-4、TB-6共通)






2. シールディングプローバ
シールディングプローバ SPシリーズ
シールディングプローバ 設置環境に影響されずに、1/f ノイズや微少電流の測定をサポートします。独自のコンパクトなシールド構造により、パッケージ状態のデバイスと同レベルでウェハを測定する環境を提供します。システムノイズフロアレベルが低いため、出力ノイズが非常に小さいデバイスの測定にも対応可能です。微小電流測定、微小電圧測定、Quasi-Static C-V測定といった測定で安定した計測環境を実現できます。SPシリーズは最大300mmウェハまで対応可能です。

対応モデル
  ・SP-8(200mmウェハ対応)
    サイズ W/L:560×560〜750※mm
    重量:50kg

  ・SP-12(300mmウェハ対応)
    サイズ W/L:730×700〜890※mm
    重量:110kg

 ※サンプル台引出し時の190mmを含む






3. フラットパネル用プローバ
小型液晶パネル用バックライトプローバ
小型液晶パネル用バックライトプローバ 小型液晶パネルなどの計測に対応したモデルです。試料台にバックライト照明を搭載していますので、試料に光を照射した状態で試験がおこなえます。バックライト照明は安定した状態で均一の光を照射できます。光の照度は電源装置にある調光つまみで制御することができます。
通常の試料台やサーマルチャックを搭載することもできます(オプション)。
サイズ:W:D:H 690×630×610(650)o
      ミツトヨ FS70搭載時




大型液晶パネル用プローバ
大型液晶パネル用プローバ 大型液晶パネルなどの計測に対応したモデルです。試料台、ポジショナ、プローブ、顕微鏡、ホットチャックの他、計測目的に応じた各種のオプションを取り揃えています。






4. 真空プローバ
高温真空プローバ
高温真空プローバ 高温環境での計測に対応したモデルです。真空チャンバーの中にヒーターユニットを持った試料台を設置し、チャンバー内を真空雰囲気にすることで設置環境に影響を与えることなく、高温で試料の計測を行うことができます。
サイズ:W:D:H 900×850×1110(1407)o
      オリンパス SZX-7搭載時




真空プローバ
真空プローバ 脱酸素雰囲気での計測に対応したモデルです。真空チャンバーの中を真空または不活性ガス雰囲気の状態にすることで脱酸素雰囲気で試料の計測を行うことができます。
サイズ:W:D:H 596×484×195(457)o
      上部扉開放時




低温プローバ
低温プローバ 低温での計測に対応したモデルです。冷凍部は可動部品が全くないパルス管冷凍機を使用していますので、低温で結露なく、低振動な計測に適しています。
サイズ:W:D:H 900×850×943(1316)o
      オリンパス SZX-7搭載時




極低温プローバ
極低温プローバ 極低温領域での計測に対応したモデルです。冷凍方式は液体ヘリウム連続フロー型のため、冷凍機を用いた冷却方式に比べて機械的振動がない分、低振動な計測に適しています。
サイズ:W:D:H 1250(1534)×700×1140(1400)o
      トランスファロッド含む
      顕微鏡搭載時






5. 磁極間プローバ
磁極間プローバ 4040MRNEW
磁極間プローバ4040RF X-Y-Z稼働式ポジショナにコンパクトなボード型プローブカードを実装したプローブユニットを搭載するプローバです。コンパクトなプローブカードは多ピンを備えており、複数素子へ一括コンタクトした状態で狭ギャップの磁極間への挿入が可能です。プローブユニットは90度回転固定機構を備えているため、試料にプローブした状態での水平状態から90度回転固定ができます。このため電磁石を回転することなく、試料に対して水平方向や垂直方向の磁場印加試験がおこなえます。

 サイズ:W400×D400×H500 mm
 重量:約15kg




水平磁極間プローバ 41RFRNEW
水平磁極間プローバ41RFR 回転台に電磁石を搭載したプローバです。電磁石を回転させサンプルに対して任意の角度で水平磁場の印加が可能です。サンプル台は懸垂式(吊り下げ式)で電磁石ヨークの磁極間に配置しており、プローブした状態で電磁石の360度回転に対応しています。懸垂式サンプル台はX-Y-Z機構をもっているため、磁極間での繰返しのプロービング操作を容易にしています。

 サイズ:W:D:H 600×650×580o





6. グローブボックス用プローバ
グローブボックス用プローバ GBシリーズNEW
グローブボックス用プローバ グローブボックスなど外気を遮断した雰囲気中での使用に最適なプローバです。試料台とポジショナはコンパクトな作業ベース上に配置していますので、省スペースでの設置が可能です。試料台にはプログラマブル対応XYZ電動ステージを使用していますので、手動操作やプログラム制御で繰返しパターン素子を連続してプロービングするときに快適な操作性を実現します。

 ・本体サイズ: W:D:H 370×290×500 mm
  ※顕微鏡スタンド、ゴム足20mm含む




ライン