各種プロ−バ
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| 1. 簡易型プローバ | |
トランクボックス型プローバ TBシリーズ
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省スペースで各種の計測目的に適したコストパフォーマンスに優れたモデルです。コンパクトなシールドボックスの中には試料台とマイクロポジショナを配置しています。設置環境に影響されずに各種サイズのウエハやチップ状態で各種の計測が行えます。 試料台、ポジショナ、プローブ、顕微鏡、ホットチャック、除振台の他、測定目的に応じたオプションを取り揃えています。 |
| ・サイズ：W:D:H（ボックス閉時、ゴム足20 mm込み） 400×260×205 o （２インチウェハ用） 450×260×205 o （４インチウェハ用） 500×260×205 o （６インチウェハ用） 550×300×205 o （８インチウェハ用） | |
| 2. フラットパネル用プローバ | |
| 小型パネル用バックライトプローバ
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小型パネルなどの計測に対応したモデルです。試料台にバックライト照明を搭載していますので、試料に光を照射した状態で試験がおこなえます。バックライト照明は安定した状態で均一の光を照射できます。光の照度は電源装置にある調光つまみで制御することができます。 通常の試料台やサーマルチャックを搭載することもできます（オプション）。 |
| ・サイズ：W:D:H 690×630×610（650）o ミツトヨ FS70搭載時 | |
| 大型パネル用プローバ
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大型パネルなどの計測に対応したモデルです。試料台、ポジショナ、プローブ、顕微鏡、ホットチャックの他、計測目的に応じた各種のオプションを取り揃えています。 |
| 3. 真空プローバ | |
| 高温用真空プローバ
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高温環境での計測に対応したモデルです。真空チャンバーの中にヒーターユニットを持った試料台を設置し、チャンバー内を真空雰囲気にすることで設置環境に影響を与えることなく、高温で試料の計測を行うことができます。 |
| ・サイズ：W:D:H 900×850×1110（1407）o オリンパス SZX-7搭載時 | |
| 常温用真空プローバ
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脱酸素雰囲気での計測に対応したモデルです。真空チャンバーの中を真空または不活性ガス雰囲気の状態にすることで脱酸素雰囲気で試料の計測を行うことができます。 |
| ・サイズ：W:D:H 596×484×195（457）o 上部扉開放時 | |
| 低温用真空プローバ
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低温での計測に対応したモデルです。冷凍部は可動部品が全くないパルス管冷凍機を使用していますので、低温で結露なく、低振動な計測に適しています。 |
| ・サイズ：W:D:H 900×850×943（1316）o オリンパス SZX-7搭載時 | |
| 極低温用真空プローバ
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極低温領域での計測に対応したモデルです。冷凍方式は液体ヘリウム連続フロー型のため、冷凍機を用いた冷却方式に比べて機械的振動がない分、低振動な計測に適しています。 |
| ・サイズ：W:D:H 1250（1534）×700×1140（1400）o トランスファロッド含む 顕微鏡搭載時 | |