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マニュアルポジショナ

OYM-90
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各種機器との組み合わせが可能で、150gの軽量ボディかつ、コンパクトなモデルです。 |
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・X-Y-Zストローク:各10o
・送り量:500μm/回転
・サイズ:39〜44×75〜86×44o |
OYM-130(R),131(L)
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ICのパッドから数ミクロンオーダの回路に至るまで幅広いプロービングに対応できる汎用モデルです。 |
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・X-Y-Zストローク:各30−15−18o
・送り量:750μm/回転
・サイズ:49〜52×89〜120×80o |
OYM-170(R),171(L)
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ステンレススティールを素材として送り精度を追求し、重厚感のある本体により、サブミクロンパターンのプロービングをサポートするハイグレードモデルです。 |
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・X-Y-Zストローク:各6.5o
・送り量:250μm/回転
・サイズ:79〜90×138〜131×72×86o |
WAVE-100(L), 200(R)
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WAVE-100/200は高周波デバイスのプロービングをサポートする5軸(X, Y, Z, プラナリティ調整、シータ調整)マニピュレータです。マニピュレータの固定は、バキューム式、マグネット式いずれも対応可能です。 |
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・X、Y、Z、プラナリティ、シータ
・X-Y-Zストローク:各12.5o
・サイズ:L120×W122×H157o(マイクロメータ含む) |
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