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OYM-90
OYM-90 各種機器との組み合わせが可能で、150gの軽量ボディかつ、コンパクトなモデルです。
X-Y-Zストローク:各10o
・送り量:500μm/回転
サイズ:39〜44×75〜86×44o

OYM-130(R),131(L)
OYM-130 ICのパッドから数ミクロンオーダの回路に至るまで幅広いプロービングに対応できる汎用モデルです。
・X-Y-Zストローク:各30−15−18o
・送り量:750μm/回転

サイズ:49〜52×89〜120×80o

OYM-170(R),171(L)
OYM-170 ステンレススティールを素材として送り精度を追求し、重厚感のある本体により、サブミクロンパターンのプロービングをサポートするハイグレードモデルです。
・X-Y-Zストローク:各6.5o
・送り量:250μm/回転

サイズ:79〜90×138〜131×72×86o

WAVE-100(L), 200(R)
WAVE-100 WAVE-100/200は高周波デバイスのプロービングをサポートする5軸(X, Y, Z, プラナリティ調整、シータ調整)マニピュレータです。マニピュレータの固定は、バキューム式、マグネット式いずれも対応可能です。
・X、Y、Z、プラナリティ、シータ
・X-Y-Zストローク:各12.5o

サイズ:L120×W122×H157o(マイクロメータ含む)

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