マニュアルポジショナ
| OYM-90 |
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各種機器との組み合わせが可能で、１50ｇの軽量ボディかつ、コンパクトなモデルです。 |
| ・X-Y-Zストローク：各１0o ・送り量：500μm/回転 ・サイズ：39〜44×75〜86×44o |
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| OYM-130（Ｒ），131（Ｌ） |
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ＩＣのパッドから数ミクロンオーダの回路に至るまで幅広いプロービングに対応できる汎用モデルです。 |
| ・X-Y-Zストローク：各30−15−18o ・送り量：750μm/回転 ・サイズ：49〜52×89〜120×80o |
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| OYM-170（Ｒ），171（Ｌ）
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ステンレススティールを素材として送り精度を追求し、重厚感のある本体により、サブミクロンパターンのプロービングをサポートするハイグレードモデルです。 |
| ・X-Y-Zストローク：各6.5o ・送り量：250μm/回転 ・サイズ：79〜90×138〜131×72×86o |
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| WAVE-100(L), 200(R)
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WAVE-100/200は高周波デバイスのプロービングをサポートする５軸（X, Y, Z, プラナリティ調整、シータ調整）マニピュレータです。マニピュレータの固定は、バキューム式、マグネット式いずれも対応可能です。 |
| ・X、Y、Z、プラナリティ、シータ ・X-Y-Zストローク：各12.5o ・サイズ：L120×W122×H157o(マイクロメータ含む) |
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