マニュアルプロ−バ

OYM-430
	高倍率顕微鏡を搭載したハイグレードモデルです。重厚性のあるベース部さらに、耐荷重性に優れたポジショナステージの装備により、数ミクロンオーダ、サブミクロンといった微細な回路に対して、高精度かつ、安定したプロービングを可能にします。X-Yステージ、ウエハサンプル台はグレードアップされ、さらに顕微鏡マウントは、X-Y稼動とクイックリフトの採用でセッティング、ポジショニングが簡単に行えます。
	・サイズ：W:D:H　690×630×610（650）�o 　　　　　　ミツトヨＦＳ７０搭載時

OYM-401
	使いやすさを最優先し、操作部がシンプルなベーシックモデルです。主にＩＣのパッドを対象にしたプロービングに適した、実態顕微鏡をセットアップしたモデルです。標準で８インチストロークのＸ−Ｙステージを装備し、オプションとしてプローブカードホルダ、ホットチャックといった各装備の設置が可能です。
	・サイズ：W:D:H　600×650×580�o

SP-8
	独自のコンパクトなシールド構造により、パッケージ状態のデバイスと同レベルでウエハを測定する環境を設定。
	・サイズ：W:H　500×560�o