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| 計測機器部 |
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| 時代の最先端を行く・・・ |
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計測機器部は半導体の研究開発や生産に必要な検査・解析・評価用装置の製造販売及び輸入販売を行っています。
特に、特殊環境下での測定が必要な研究開発部門にて使用される装置開発を得意として最先端分野への納入実績も数多く有しています。
又、現在は、従来のプロービング技術を基軸にそれがインテグレートされた応用技術分野”ナノテクノロジー”への挑戦も行っており、将来は半導体を核とした応用技術も含め全ての分野での検査・解析・評価のサポートが出来る体制作りを目指しています。 |
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| 取扱商品 |
■ マニュアルプローバ
■ マニュアルポジショナ
■ セミオートプローバ
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■ 水銀プローバ
■ 4点プローバ
■ レーザ
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■ 高周波プローブ・プローブカード
■ パッケージオープナー
■ 精密ピンセット・ダイアモンドスクライバー
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| 商品のお問い合わせは、お電話にて 078-304-5151 まで |
| 商品詳細は http://www.oyama-web.com/guide4/ まで |
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■ マニュアルプローバ
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OYM430
高倍率顕微鏡を搭載したハイグレードモデルです。
重厚性のあるベース部、さらに、耐荷重性に優れたポジショナステージの装備により、数ミクロンオーダー、サブミクロンといった微細な回路に対して高精度、かつ、安定したプロービングを可能にしています。
X-Yステージ、ウェハサンプル台はグレードアップされ、さらに、顕微鏡マウントは、X-Y稼動とクイックリフトの採用でセッティング、ポジショニングが簡単に行えます。 |
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| ■ マニュアルポジショナ |
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OYM-90
各種機器との組み合わせが可能で、150ｇの計量ボディ、かつ、コンパクトなモデルです。
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OYM-130(R),131(L)
ICのパッドから数ミクロンオーダーの回路に至るまで幅広いプロービングに対応できる汎用モデルです。
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OYM-170(R),171(L)
ステンレススティールを素材として送り精度を追求し、重厚感ある本体により、サブミクロンパターンのプロービングをサポートするハイグレードモデルです。 |
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■ セミオートプローバ
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MODEL P300A
パターン認識機能を搭載したプログラマブル・セミオートプローバです。
ジョイスティックに加え、ユーザーインターフェイスにタッチパネルを採用して容易な操作を可能にしています。
プローブカードホルダ、シールドボックス、サーマルチャック、CCDモニタ、レーザーカッター等各種オプションを取り揃えています。
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■ 水銀プローバ
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CVmap92A
再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。
Si、化合物、SOI、バルクウェハといった様々なウェハの特性を測定できます。
又、ユーザーが、最大49箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vdb、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。
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■ 4点プローバ
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Model-280
四短針法によるシート抵抗測定システムです。メタル層、エビ層、イオン注入層、拡散層等といった薄膜から厚膜まで様々な膜質に対応でき、又、平均値、V/I、標準偏差の表示機能やWindowsを用いて、データ集計、3Dマッピング等が可能です。
又、オプションとして、拡張測定レンジ、SPC（統計管理機能）、温度補正機能の追加や”C to C”仕様に対応できます。
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■ レーザー
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Ezlaza・Quiklaze
ますます微細化、多層化するデバイスのパッシベーションの除去、回路のカッティングを目的としたレーザーシステムです。
独自の発振方式により、1台で短波長から2波長、さらには、3波長と最適な波長を選択でき、用途に応じ、加工面積、出力を調整することで思いのままの加工を短時間で実現します。 |
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■ 高周波プローブ
プローブカード
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高密度化、微細化の一途をたどるLSI、さらには、高周波デバイスのプロービングに対応し、歩留まりの向上、品質の管理に貢献します。
ピン数、ピッチ、基盤形状、周波数等特殊仕様のニーズにお応えします。 |
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■ パッケージオープナー
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キャンオープナー MCO-1
主に、レーザーダイオードのようなTOパッケージを対象としたマニュアル式の開封装置です。
ノブを回転させるだけで簡単に開封でき、面倒な手作業や時間を大幅に削減できます。 |
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■ 精密ピンセット
ダイヤモンドスクライバ
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精密ピンセットとスクライバは素材を重視し、ハンドメイドゆえの丈夫さ、使い易さを兼ね備えた完成度の高い製品で、豊富なラインナップを取り揃えています。
用途に応じてお選びください。 |
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